| 项目 | 名称 | 参数 |
|---|---|---|
| 性能参数 |
激光频率稳定度 线性定位精度 分辨率 测量速度 测量距离 |
±0.05ppm ±0.5um/m（±0.5ppm） 最高1nm 可配置 4m/s 20m |
| 工作条件 |
工作温度 工作压力 工作湿度 |
0℃~40℃
60KPa~120KPa
0%~95% 非冷凝
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| 激光参数 |
激光波长 激光功率 激光稳定时间 出射光斑直径 |
632.8nm ＜1mw ≈10min 6mm |
| 环境补偿传感器 |
环境温度测量精度
大气压力测量精度
大气湿度测量精度
材料温度测量精度
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±0.1℃
±100Pa
±5%
±0.1℃
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| 电气特性 |
电源电压
电源电流
调试接口
位置数据反馈接口
通用I/O接口
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24V±10% 2.0A 最大 USB RS422/RS485 串行数据：BISS_C 增量数据：TTL增量方波、1Vpp弦波
24V带隔离通用I/O点
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