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简介

  • 01 激光干涉仪

    LM-20激光干涉仪以氦氖激光器产生的激光波长为基础，应用高稳定度的激光稳频率技术，获得作为测量基准的高精度激光波长；同时使用高精度温度、大气压力、湿度传感器进行测量环境的补偿；并通过与外部光学镜组配合，实现高精度、可重复、可溯源的相关几何参数精度测量，是数控机床和坐标测量机等精密设备校准的理想工具。LM-20激光干涉仪延续GDLM-10激光干涉仪的高精度测量性能，同时优化了机械结构和使用性能。

 

  • 02 测量的基本原理

    01.LM-20激光干涉仪的激光头发射出光波，经过分光镜后光波被分成两束；02.固定角锥反射镜和移动角锥反射镜分别将光波反射回分光镜；03.两列相干光波相遇叠加，在叠加区域某些点的光振动始终加强，某些点的光振动始终减弱，即在干涉区域内振动强度有稳定的空间分布；04.最终在光靶上形成了明暗相间的干涉条纹，当两束满足干涉条件的光路径发生相对变化时（即移动角锥反射镜时），其干涉条纹也将发生变化，利用特殊的计数装置对干涉条纹进行计数，就可以知道移动角锥反射镜的位置变化量，从而实现对线性位移进行测量的目的。

  • 03 产品优势

          高激光频率稳定度
    激光稳频标称精度±0.05ppm，实际计量结果 0.02ppm，为激光干涉仪测量提供高精度基准。中国计量科学研究院是中国最权威的计量检测机构，激光干涉的检定数据均来自于中国计量科学研究院。
          精密的环境参数测量能力
    环境温度测量标称精度±0.1℃，实际计量结果-0.02℃-+0.06℃；材料温度测量标称精度±0.1℃，实际计量结果+0.01℃-+0.06℃；大气压力测量标称精度±100Pa，实际计量结果+40-+66.7Pa；环境湿度测量精度±5%。为激光干涉仪的环境补偿算法提供精准的环境参数变化。
          高测量精度
    线性定位测量标称精度±0.5um/m（±0.5ppm），实际计量结果+0.08-+0.47um/m，高测量精度使激光干涉仪可以作为高精度的校准设备。

  • 04 产品特点1

    高测量速度；最高4m/s的测量速度，满足几乎所有的测量应用。
    快速启动：约6分钟的启动预热时间，便于测量现场的快速使用。
    长测量距离：长达20m的测量能力，满足大多数的测量要求。

  • 05 产品特点2

    高测量分辨率：可选的测量分辨率，最高1nm。
    触发式测量：适合在待测机器移动时记录测量值，测量效率高。
    多种国际分析标准供选择：方便用户选择自己需要的分析标准，进行多种分析。

  • 06 核心组件（激光头）

    激光的稳频，发射接收及相关后续处理；环境传感器数据的接收，上位机软件的交互。

  • 07 核心组件（环境传感器）

    用于测量环境温度，材料温度，环境湿度及大气压力；测量得到的环境数据用于干涉仪的精密补偿。

  • 08 核心组件（测量镜组）

    1、线性镜组：用于进行线性测量的光学套件；
    2、角度镜组：用于进行角度及旋转测量的光学套件。
  •  

    09 相关组件

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参数

LM-20激光干涉仪技术参数表
性能参数 光学参数
激光频率稳定度    ±0.05ppm 激光功率               ≤1mw
线性定位精度        ±0.5um/m（±0.5ppm） 激光对准范围       ±2°
分辨率                   1nm最高 光斑直径               6mm
测量速度                ≤4m/s 激光稳定时间       约6min
测量距离                ≤20m  


环境传感器组件参数表
名称 参数
环境传感器组件         内部传感器 1个空气湿度传感器     1个空气压力传感器
                                 外部传感器 1个空气湿度传感器     1-3个材料温度传感器
接口 专用线缆直接连接激光干涉仪
供电                激光干涉仪供电
精度参数及范围 测量范围 测量精度
环境温度传感器 0℃-50℃ ±0.1℃
材料温度传感器 0℃-50℃ ±0.1℃
大气压力传感器 60KPa-120KPa ±100pa


附件参数表
规格 参数
便携箱尺寸 便携箱尺寸 559 x 351 x 229 mm
系统重量 12-18kg
三脚架折叠后尺寸 590mm
三脚架工作高度范围 350-1650mm


线性测量
规格 公制 英制
线性测量长度范围 20m 800 in
测量精度                        ±0.5um/m（±0.5ppm）
分辨率 0.001um 0.1uin


角度测量
规格 公制 英制
轴向量程 15 m 590 in
角度测量范围 ±175mm/m ±10°
精度 ±0.002A±0.5±0.1M微弧度
±0.0002A±0.5±0.1M微弧度 		±0.002A±0.1±0.007F角秒
±0.0002A±0.1±0.007F角秒
分辨率 0.1um/m 0.01角秒
温度范围：20℃±5℃
A=显示的角度度数；M=以米来计的测量距离；F以英尺来计的测量距离


旋转测量
规格 公制 英制
角度目标量程                           0-360°
测量精度 ±5um/m ±1角秒
轴最高转速                           2rpm
方向                           任意

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